ICP光譜儀的儀器性能需要定期進行校準，一般是六個月，校準的項目主要有以下幾項：
一、波長的正確性和重復性
  波長的正確性和重復性利用汞燈準值即可完成。在光路入射處安裝一個汞燈，然后用它的一條固定譜線來校正光路。按下控制面板上的汞燈鍵，如汞燈無讀數，則按INCREASE或DECREASE鍵進行調整，使讀數在20～100之間。進入ICP軟件，啟動運行光譜儀中的多色儀校準程序，計算機會自動找到峰值位置，狹縫汞線對正汞的出射狹縫，其它元素通道的出射狹縫也就對正了。

二、系統試驗
  1、電子試驗：通過置換PMT信號的試驗電壓來測試積分器和A/D轉換器電路，檢查測量系統。
  2、滲漏試驗：檢查積分模擬開關的狀態，結果符合出廠技術要求。
  3、暗電流試驗：在每個通道上都進行測量，以便測定在無光條件下由光電倍增管產生的殘余電流。
  4、穩定性試驗：用來長期測試系統電子元件，儀器開機穩定后，4小時內每隔15分鐘測量一次，共16次，然后由計算機算出相對標準偏差（RSD％）。

三、檢出限的校準
  ICP光譜儀處于穩定狀態后，用6％鹽酸溶液進行霧化，測量各個元素的檢出限，依據日常分析范圍和出廠要求，判斷儀器是否合格。

四、精密度的校準
   儀器穩定后，用標準溶液進行霧化，按照設定的計算機程序連續測量12次，此組數據不得取舍或補測，由計算機算出平均值、標準偏差和精密度RSD。

五、測量準確度的校準
  ICP光譜儀穩定后，光路準值，在適宜、正確的格式文件下，用適中的標準樣品對工作曲線進行標準化校正，對檢查樣品進行測量，結果應符合GB222－84要求。